UM0542 List of tables
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List of tables
Table 1. Mechanical data (LGA8 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8
Table 2. Mechanical data (LGA14 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9
Table 3. Mechanical data (LGA16 (D) package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10
Table 4. Mechanical data (LAG16 (A) package). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11
Table 5. Mechanical data (QFN28 package) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12
Table 6. Voltage regulator for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Table 7. Voltage regulator for digital MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Table 8. Voltage regulator for memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15
Table 9. Analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Table 10. Digital MEMS, . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16
Table 11. Memory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 12. Operational amplifier X-axe for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 13. Operational amplifier Y-axe for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 14. Operational amplifier Z-axe for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17
Table 15. Operational amplifier XYZ-axes for analog MEMS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18
Table 16. Document revision history . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19